深度對比半導體照明三條主要技術(shù)路線
目前半導體照明主要有三條技術(shù)路線,分別是以日本日亞化學為代表的藍寶石襯底LED技術(shù)路線、以美國CREE為代表的碳化硅襯底LED技術(shù)路線,以及以中國晶能光電為代表的硅襯底LED技術(shù)路線。2016年1月8日,南昌大學聯(lián)合晶能光電的江風益團隊“硅襯底高光效GaN基藍色發(fā)光二極管”技術(shù)項目獲得2015年度國家科學技術(shù)獎技術(shù)發(fā)明類唯一的一等獎,LED業(yè)界中國芯的夢想再次被激發(fā)。硅襯底技術(shù)項目的獲獎,說明硅襯底已被國家證實可行,并已提升到國家戰(zhàn)略層面。硅襯底或?qū)⒂瓉硪?guī)?;纳虡I(yè)應用。
藍寶石(Al2O3)襯底
2014 年10 月7 日瑞典皇家科學院宣布:赤崎勇、天野浩和中村修二因發(fā)明“高效藍色發(fā)光二極管”獲得2014 年諾貝爾物理學獎。這3 位科學家的突出貢獻在于,1993年他們突破了在藍寶石襯底上制備高光效GaN 基藍光LED 的核心技術(shù)。20多年來,基于藍寶石襯底的GaN 基藍光LED技術(shù)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,占據(jù)了襯底市場90%以上的市場份額,成為目前市場上的主流技術(shù)路線。
藍寶石具有優(yōu)異的光學性能、機械性能和化學穩(wěn)定性,強度高、硬度大、耐沖刷。作為襯底材料,藍寶石具有高溫下(2000℃)化學性質(zhì)穩(wěn)定好、可見光不易吸收、價格便宜等優(yōu)點。
藍寶石襯底也有缺點,比如:第一,晶格失配和熱應力失配會導致外延層中產(chǎn)生大量缺陷,同時給后續(xù)的器件加工工藝造成困難;第二,藍寶石是絕緣體,電阻率很大,無法制成垂直結(jié)構(gòu)的器件;第三,通常只在外延層上表面制作N型和P型電極,造成了有效發(fā)光面積減少,材料利用率降低;第四,藍寶石的硬度非常高,僅次于金剛石,難以對它進行薄化和切割;第五,藍寶石導熱性能不是很好,因此在使用LED器件時,會傳導出大量的熱量,對面積較大的大功率器件,導熱性能是一個非常重要的考慮因素。
目前藍寶石襯底的技術(shù)發(fā)展比較成熟,不足方面雖然很多,但都被逐個克服,例如:過渡層生長技術(shù)克服了較大的晶格失配問題;采用同側(cè) P、N 電極克服了導電性能差的問題;不易切割的問題可以通過雷射劃片機解決;由于熱失配導致的對外延層的壓力問題也可以得到解決。不過,江風益認為,藍寶石襯底很難做到8 英寸至12 英寸等大尺寸外延,且因藍寶石散熱性能差,又難以剝離襯底,故在大功率LED 方面具有性能局限性。
藍寶石襯底技術(shù)以日亞化學、豐田合成為代表。在藍寶石晶體和晶片制備方面,國外主要集中在日本、美國、俄羅斯等國家,2010 年俄羅斯首次展出了200 mm 藍寶石晶片。我國相對于國外存在較大差距,代表企業(yè)有元亮科技、同人電子、協(xié)鑫光電、重慶四聯(lián)光電、中鎵半導體、奧瑞德等。在外延方面,國內(nèi)除了清華大學、北京大學、南昌大學、中科院半導體所等研究單位外,三安光電、華燦光電、上海北大藍光、南昌欣磊光電、江西聯(lián)創(chuàng)光電等企業(yè)在進行外延片的生產(chǎn)與研究。
藍寶石材料目前生產(chǎn)能力過剩,低端市場競爭激烈。為延長LED產(chǎn)業(yè)鏈,應當高起點大力推進藍寶石圖形襯底發(fā)展。重點發(fā)展納米級圖形化藍寶石襯底(PSS)、半球形和錐形圖形襯底,以及激光誘導濕法刻蝕(LIBWE)、干法刻蝕等技術(shù)。同時,推動藍寶石圖形襯底相關的光刻和刻蝕以及相關檢測設備、材料等發(fā)展。
碳化硅(SiC)襯底
SiC具有優(yōu)良的熱學、力學、化學和電學性質(zhì),不但是制作高溫、高頻、大功率電子器件的最佳材料之一,而且可以用作基于GaN的藍色發(fā)光二極管的襯底材料,打破了藍寶石一統(tǒng)天下的局面,尤其在路燈和室外照明領域具有巨大的市場潛力。在半導體領域最常用的SiC是4H-SiC 和6H-SiC 兩種。
碳化硅與藍寶石相比,在結(jié)構(gòu)上,藍寶石不是半導體而是絕緣體,它只能做單面電極;碳化硅是導電的半導體,它可以做垂直結(jié)構(gòu)。碳化硅襯底的導熱性能要比藍寶石高10倍以上;藍寶石本身是熱的不良導體,并且在制造器件時底部需要使用銀膠固晶,銀膠的傳熱性能也很差。而使用碳化硅襯底的芯片電極為L型,兩個電極分布在器件的表面和底部,所產(chǎn)生的熱量可以通過電極直接導出;同時這種襯底不需要電流擴散層,因此光不會被電流擴散層的材料吸收,這樣又提高了出光效率。
在碳化硅襯底領域,美國Cree幾乎壟斷了優(yōu)質(zhì)碳化硅襯底的全球供應,其次是德國SiCrystal、日本新日鐵、昭和電工、東纖-道康寧。我國企業(yè)實力較弱,國內(nèi)能生產(chǎn)和加工碳化硅襯底的企業(yè)或機構(gòu)有北京天科合達、山東天岳、山東大學、中科院物理所、中科院上海硅酸鹽所、中國電子科技集團46所等。2015年7月,山東天岳自主研制的一款4英寸高純半絕緣碳化硅襯底產(chǎn)品面世。
用碳化硅做光電器件襯底主要挑戰(zhàn)是成本仍相對較高、技術(shù)門檻較高和專利技術(shù)不足,面臨著行業(yè)壟斷者的專利威脅。不過LED市場有高中低端之分,碳化硅襯底LED定位在高端。大功率LED市場需求巨大,碳化硅材料性能優(yōu)越,具有功率大、能耗低、發(fā)光效率高等顯著優(yōu)勢,可以很好滿足大功率LED需求。
硅(Si)襯底
硅片作為GaN 材料的襯底有許多優(yōu)點,如晶體品質(zhì)高,尺寸大,成本低,易加工,良好的導電性、導熱性和熱穩(wěn)定性等。
由于單晶硅材料生長技術(shù)成熟度高,容易獲得低成本、大尺寸(6-12 英寸)、高質(zhì)量的襯底,可以大大降低LED 的造價。并且,由于硅單晶已經(jīng)大規(guī)模應用于微電子領域,使用單晶硅襯底有望實現(xiàn)LED 芯片與集成電路的直接集成,有利于LED 器件的小型化發(fā)展。因此使用單晶硅作為LED 襯底一直是本行業(yè)夢寐以求的事情。此外,與藍寶石相比,單晶硅在性能上還有一些優(yōu)勢:熱導率高、導電性好,可制備垂直結(jié)構(gòu),更適合大功率LED 制備。
然而與藍寶石和SiC 相比,在Si 襯底上生長GaN 更為困難,主要體現(xiàn)在:(1)兩者之間的熱失配和晶格失配更大;(2)Si 與GaN 的熱膨脹系數(shù)差別也將導致GaN 膜出現(xiàn)龜裂;(3)晶格常數(shù)差會在GaN 外延層中造成高的位錯密度;(4)Si 襯底LED 還可能因為Si 與GaN 之間有0.5 V 的異質(zhì)勢壘而使開啟電壓升高以及晶體完整性差造成p 型摻雜效率低,導致串聯(lián)電阻增大;(5)Si 吸收可見光會降低LED 的外量子效率。
從1999年第一個GaN/Si LED出現(xiàn),到2002 年商品化GaN/Si LED 就已經(jīng)問世,但是由于性能與藍寶石及碳化硅制備的LED相差很大而沒有被廣泛應用。2010 年德國Azzurro 公司授權(quán)GaN-on-Si 技術(shù)予德國OSRAM 公司。2013 年4 月日本東芝公司收購美國普瑞光電(Bridgelux) 的技術(shù),并開始8 英寸GaN-on-Si 外延片生產(chǎn)。國內(nèi)江西晶能光電公司早在2012 年就宣布批量生產(chǎn)HB-LED 芯片;江西晶瑞光電也已推出了類似性能的LED 產(chǎn)品。
晶能光電的硅襯底技術(shù),具有完全自主的知識產(chǎn)權(quán),形成了藍寶石、碳化硅、硅襯底半導體照明技術(shù)路線三足鼎立的局面。中國LED產(chǎn)業(yè)只有打破國際巨頭的技術(shù)、專利壟斷,掌握核心技術(shù),才能真正實現(xiàn)由“跟隨”到“跨越”的轉(zhuǎn)變。
濟寧萊特光電科技有限公司坐落于山東省濟寧市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū),成立于2010年10月。企業(yè)總投資1.2億元,其中固定資產(chǎn)7000萬元。公司占地50畝,現(xiàn)有生產(chǎn)車間共13000平方米,其中一號車間占地2400平方米,主要生產(chǎn)LED日光燈、電路板、LED光源等及EVA膠膜生產(chǎn)線一條;二號車間占地3700平方米,主要生產(chǎn)石英坩堝和生產(chǎn)路燈燈具、燈桿;三號車間占地3700平方米,主要生產(chǎn)太陽能電池板、承接分布式發(fā)電站工程;辦公場所3200平方米。公司是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、安裝為一體的高新技術(shù)企業(yè),是目前我市及魯西南地區(qū)起點最高、技術(shù)最先進、檢測手段最完善的LED燈生產(chǎn)企業(yè)。 公司現(xiàn)有員工180余人,其中技術(shù)人才43名。公司以清華大學和西安電子科技大學的光伏光電技術(shù)為支撐,大學高科技技術(shù)人員長期住廠進行技術(shù)指導,著力打造全國一流的高端LED及光伏光電生產(chǎn)企業(yè)。幾年來,取得了較多知名企業(yè)的長期合作與信任,如辰欣藥業(yè)、如意集團、中聯(lián)集團、魯抗集團、山推集團等。
公司系山東省市級“重合同守信用企業(yè)”、“立信單位”、“計量合格企業(yè)”、“質(zhì)量信得過企業(yè)”、“濟寧市執(zhí)行標準優(yōu)秀企業(yè)”、“AAA”級資信企業(yè)。擁有城市及道路照明工程專業(yè)承包三級資質(zhì)、安全生產(chǎn)許可證。我們濟寧萊特人秉著“求實、高效、創(chuàng)新”的團隊精神,參與到激烈的市場競爭中來,以一流的產(chǎn)品質(zhì)量,優(yōu)惠的產(chǎn)品價格,一流的服務,贏得您的支持與信賴。我們愿同四海知音、各界同仁攜手共同發(fā)展共創(chuàng)輝煌!竭誠為新老客戶提供最優(yōu)質(zhì)的服務。
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